本裝備接納了裝載鎖定（Load lock）式鍍膜體例。比擬通俗裝備加重了裝備的保護承擔，和為求省力化，設想了對應前后工程主動化的裝配。
別的，接納了扭轉式（Carousel）鍍膜，能夠對應高溫鍍膜需要。
提要
- 裝載鎖定式濺鍍裝備
- W240×L900mm托盤×18片一起處置
- 能夠利用3種差別資料停止鍍膜
特點
２． 容納了改變陰離子，耽擱了了靶材的巧用期３． 調優了院校代號內，院校代號間膜厚造謠生事４． 對比承堂φ1700mm玻璃鍍膜游戲裝備，主產性更高一些 基鋼板的單元尺寸適用面積跳電池容量壓減了65% 快速設置大小的產于器能約為2.8倍 ５． 才能增加活躍化功郊
首要用處·利用例
１． 中用樹酯基材具有以防折射膜 ２． 用于平板玻璃基板構成光學濾鏡
